半導体工場の振動対策

【対策商品】
空気ばね防振装置

【対象設備】
織機

【課題解決内容】
半導体工場において、織機の振動が同工場内のSEM（走査電子顕微鏡）に影響を及ぼし振動障害が発生。 織機に防振装置を設置することにより、振動障害を解決した。